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数字化先驱 半导体超纯水系统助力推动行业发展

文章出处:Admin5 作者:秩名发表时间:2021-08-20 14:34

  半导体行业自问世以来一直是数字化的先驱,提供数字化服务并追求新的数字商业模式,人工智能应用的快速发展带来极大的芯片需求,促进了半导体行业的强势增长。数据显示,2018年全球半导体制造设备销售总额达645亿美元,比2017年增长14%。中国大陆以年增长59%达到131.1亿美元的成绩,成为全球第二大半导体新设备市场,2018年中国半导体市场规模超过18000亿美元,2019年预计将达到2万亿,预计增长 12.1%。(数据来源:英格索兰ARO流体管理)

  在半导体制程中,制作集成电路的尺寸越来越小,晶圆上的组件也随之缩小,使得各种有机物、粒子的接触污染及各机台导致的金属杂质等污染物大于或相当于组件尺寸的现象更严重,若在半导体制程中有污染物残留在晶圆表面上,将造成组件短路或缺陷,导致集成电路无法使用,因此,半导体制程中不允许晶圆表面上残留有污染物。

  超纯水(UPW)是指电阻率达到18 MΩ·cm(25℃)的水,可分为国标《电子级水》和美标《电子和半导体超纯水质标准》。莱特莱德采用反渗透技术,将水中的大部分离子、病毒及细菌完全去除后制成超净水,以解决超纯水清洗芯片寸在的问题,更好的提升芯片的良品率。其技术优势如下:

  1、降低能耗,减少化学药品的使用量,综合成本低。

  2、各个自动运行程序的工艺参数、控制参数可以在线设定。

  3、自动报警系统可分析各类故障并发出警报,显示故障点和故障状态。

  4、整体设备运行稳定、自动化程度高、无需人工操作。

  莱特莱德半导体超纯水系统采用定制化工艺包,搭配成熟的模块设计,达到1+1>2的结果呈现,为半导体行业提供更优品质的超纯水。

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