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半导体用去离子水设备

文章出处:去离子水设备 作者:福州水处理工程师发表时间:2018-08-08 19:53

  半导体用去离子水设备采用超低压渗透过滤技术,去除了水质的杂质、细菌、热源、等有害物质,同时还能够去除水中的各种离子,使出水水质符合规定的卫生标准,符合企业的实际生产需要。长期下来可以为您节省大量电费,降低运营成本。

  莱特莱德公司目前拥有高级工程师10多名,获得环保注册工程师认证、水处理高级工程认证、VWS认证工程师等多项专业认证。同时公司的业务主要涵盖纯化水设备、水处理设备、超纯水设备、软化水设备以及矿泉水设备研发、生产、销售、安装和服务。

半导体用去离子水设备

  半导体用去离子水设备的处理过程

  先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质,然后高压通过反渗透膜,分离出溶剂与溶液。一般还要经过一步紫外杀菌以去除水中的微生物。假如此时电阻率还没有达到要求的话,可以再进行一次离子交换过程,高电阻率可达到18兆。半导体行业中用的大多数是高纯度的去离子水。

  半导体用去离子水设备工作原理

  第一种:一般通过阳阴离子交换树脂取得的去离子水,出水电导率可降到10us/cm以下,再经过混床就可以达到1us/cm以下了。但是这种方法做出来的水成本极高,而且颗粒杂质太多,达不到理想的要求。目前已较少采用了。

  第二种:预处理(即砂碳过滤器+精密过滤器)+反渗透+混床工艺这种方法是目前采用多的,因为反渗透投资成本也不算高,可以去除90%已上的水中离子,剩下的离子再通过混床交换除去,这样可使出水电导率:0.06左右。这样是目前流行的方法。

  第三种:前处理与第二种方法一样使用反渗透,只是后面使用的混床采用EDI连续除盐膜块代替,这样就不用酸碱再生树脂,而是用电再生。这就彻底使整个过程无污染了,经过处理后的水质可达到15M以上。但这这种方法的前期投资比较多,运行成本低。

半导体用去离子水设备

  半导体用去离子水设备产水水质标准图

半导体用去离子水设备

  半导体用去离子水设备的优点

  1、无需酸碱再生:在混床中树脂需要用化学药品酸碱再生,且需要安全储存酸碱的车间,再生时有大量有害废水和废弃物需处理,增加了环保和安全方面的工作困难。

  2、连续、简单的操作:在混床中由于每次再生和水质量的变化,使操作过程变得复杂,而EDI的产水过程是稳定的连续的,产水水质是恒定的,没有复杂的操作程序,操作大大简便化。

  3、降低了安装的要求:EDI系统与相当处理水量的混床相比,有较小的体积,半导体用去离子水设备采用积木式结构,可依据场地的高度和灵活地构造。模块化的设计,使EDI在生产工作时能方便维护。